بررسی ITO و ویژگی های آن

بررسی ITO و ویژگی های آن

دسته بندی	برق
بازدید ها	31
فرمت فایل	docx
حجم فایل	84 کیلو بایت
تعداد صفحات فایل	102

فروشنده فایل

کد کاربری 4674

تمام فایل ها

بررسی ITO و ویژگی های آن

فصل اول

1-1- معرفی ITO و ویژگی های آن

1-1-1- خواص عمومی و ساختار فیزیکی

1-1-2- خواص الکتریکی

1-1-3- تحرک حامل های آزاد؛ مکانیزم پراکندگی

1-1-4- ویژگی های اپتیکی

1-1-5- ثابتهای اپتیکی

1-1-6- ساختار باند

1-2- روشهای لایه نشانی ITO

1-2-1- تبخیر حرارتی

1-2-2- لایه گذاری به روش بخار شیمیایی

1-2-3- افشانه گرما کافت (Spry pyrolysis)

1-2-4- چاپ صفحه ای (screen printing)

1-2-5- لایه گذاری توسط باریکه الکترونی (e – beam)

1-2-6- لایه گذاری به روش بخار شیمیایی

1-3- تماس نیمه هادی ITO

1-3-1- تحلیل دیاگرام باند انرژی تماس MS

فصل دوم

3-1 عملیات قبل از لایه نشانی

3-1-1- استفاده از محلول (RCA)

3-1-2- استفاده از حمام اولتراسونیک

3-1-3- گرما دهی به زیر لایه

3-2 عملیات لایه نشانی

3-2-1- کندوپاش

3-2-2- اساس مکانیزم کندوپاش

3-2-3- dc کندوپاش

3-2-4- rf کندوپاش

3-2-5- مگنترون کندوپاش

3-2-6- کندوپاش واکنشی

3-2-7- مزیت های فرایند کندوپاش

3-2-8- سیستم لایه نشانی مورد استفاده در این پروژه

3-2-9- تاثیر فاصله بین هدف و زیرلایه بر خواص فیلم ITO

3-2-10- تاثیر فشار جزئی اکسیژن روی ویژگی های فیلم ITO

- عملیات پس از لایه نشانی

- فرایند پس گرمایش

فصل چهارم

4-1- الگودهی به نمونه ها

4-1-1- طراحی و ساخت الگو

4-1-2- انواع فتورزیست

4-1-3- روش Lift-off

4-1-4- روش زدایش (etching)

4-1-4-1- زدایش خشک

4-1-4-2- زدایش تر

4-2- ضخامت سنجی

4-3- اندازه گیری مقاومت تماس

4-4- اندازه گیری مقاومت ورقه ای

4-4-1- پروب چهار نقطه ای

4-5- روش های کریستالوگرافی

4-5-1- بررسی با کمک میکروسکوپ نوری

4-5-2- بررسی با میکروسکوپ الکترونی

4-5-3- میکروسکوپ اسکن کننده الکترونی (SEM) و تحلیل تفکیک کننده اشعه ایکس (EDX)

4-5-4- میکروسکوپ انتقال دهنده الکترون (TEM)

4-5-6- شناسایی بر اساس تفرق اشعه ایکس (XRD)

4-5-7- RBS

4-5-8- بررسی با کمک میکروسکوپ نیرو اتمی (AFM)

4-6- طیف سنجی فروسرخ

4-6-1- فرایند جذب فروسرخ

4-6-2- موارد کاربرد طیف فروسرخ

4-6-3- حرکات ارتعاشی

4-6-4- دستگاه طیف سنج فروسرخ

بررسی ITO و ویژگی های آنمعرفی ITO و ویژگی های آنخواص عمومی و ساختار فیزیکیخواص الکتریکیتحرک حامل های آزادمکانیزم پراکندگیویژگی های اپتیکیثابتهای اپتیکیساختار باندروشهای لایه نشانی ITO